真空燒結(jié)爐采用高溫電熱合金絲或硅碳棒作為發(fā)熱元件，K分度或S分度熱電偶作測溫元件，爐膛最高溫度可達(dá)1700℃，用精密數(shù)顯程序控溫儀控溫，能實(shí)現(xiàn)爐溫的自動(dòng)程序升降。由機(jī)械真空泵或者二級真空機(jī)組對爐膛進(jìn)行抽真空，可實(shí)現(xiàn)樣品的真空燒結(jié)，同時(shí)也可注入保護(hù)氣氛或反應(yīng)氣氛作氣壓高溫?zé)Y(jié)。設(shè)備廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷、功能陶瓷、硬質(zhì)合金、生物陶瓷、人工晶體、復(fù)合材料等的高溫?zé)Y(jié)試驗(yàn)。
　　
　　真空燒結(jié)是一種瓷坯在真空條件下燒結(jié)的方法，氧化物陶瓷坯體的氣孔中含有的水蒸氣、氫、氧等氣體在燒結(jié)過程中借溶解、擴(kuò)散沿著坯體晶界或通過晶?？蓮臍饪字幸莩?。但其中的一氧化碳、二氧化碳，特別是氮，由于溶解度較低，不易從氣孔中逸出，致使制品內(nèi)含有氣孔，致密度下降。如將坯體在真空條件下燒結(jié)，則所有氣體在坯體尚未完全燒結(jié)前就會(huì)從氣孔中逸出，使制品不含氣孔，從而提高制品的致密度。
　　
　　真空燒結(jié)爐在高溫和一定的真空度下，使具有一定形狀的陶瓷坯體經(jīng)物理化學(xué)過程變?yōu)橹旅堋?jiān)硬、體積穩(wěn)定、具有一定性能的燒結(jié)體。物理化學(xué)過程包括粘滯流動(dòng)、擴(kuò)散、蒸發(fā)、凝聚、新相形成、溶解和沉淀、固溶體產(chǎn)生等。在過程進(jìn)行中，粉末總表面能下降，宏觀上表現(xiàn)出坯體收縮，強(qiáng)度增加；微觀上表現(xiàn)為氣孔數(shù)量減少，氣孔形狀、大小改變，晶粒尺寸及形貌變化，晶粒長大，晶界減少，結(jié)構(gòu)致密化。瓷坯中含有一定量的氣孔，其中水蒸氣、氫氣、氧氣能借助溶解和擴(kuò)散過程從封閉氣孔中逸出，一氧化碳、二氧化碳和氮?dú)獾扔捎谌芙舛容^低，不易從封閉氣孔中逸出。